● 無差分泵Z方向旋轉(zhuǎn)，確保在旋轉(zhuǎn)過程中不漏氣
● 樣品可連續(xù)旋轉(zhuǎn)，保證薄膜生長的均勻性;轉(zhuǎn)動速度1-30 rpm可調(diào)
● Z軸運動低阻尼設(shè)計，使用更省力穩(wěn)定
● 采用進口交叉滾珠導(dǎo)軌，運動平穩(wěn)，保證每軸運動的直線度，無偏擺，俯仰
● 可選Z軸恒力彈簧，消除外界壓力，使操作流暢
● 測微頭驅(qū)動，定量讀數(shù)，達到高的調(diào)整精度
五軸晶圓樣品操作臺（Wafer Manipulator）
